旋轉(zhuǎn)接觸角測(cè)量儀在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中的應(yīng)用

更新時(shí)間：2022-07-20

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　　旋轉(zhuǎn)接觸角測(cè)量儀主要用于測(cè)量液體對(duì)固體的接觸角，即液體對(duì)固體的浸潤性，可以測(cè)量各種液體對(duì)各種材料的接觸角，而接觸角是表征材料表面潤濕行難呢過的主要手段，為了確保光學(xué)接觸角測(cè)量儀的壽命以及測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，我們?cè)谑褂玫臅r(shí)候要了解它的維護(hù)和保養(yǎng)的主要事項(xiàng)。

　　測(cè)量儀可以用于：測(cè)量光刻膠、晶圓、光伏、塑料、玻璃、陶瓷、木材、紙張、金屬等材料的的潤濕性、分析表面清潔度、活化過程的質(zhì)量保證，例如測(cè)試等離子處理后的效果、測(cè)試疏水涂料和其他涂料的效果等等。

　　接觸角測(cè)量儀應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi)，避免光學(xué)零件表面污損，金屬零件生銹，塵埃雜物落入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，影響儀器性能；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，應(yīng)定期加潤滑油，使機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)順暢，保持良好的使用狀態(tài)。

　　半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會(huì)造成芯片的損失，所以需要用接觸角測(cè)量儀檢測(cè)晶圓表面潤濕性等來判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)。

　　測(cè)量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤濕行為，測(cè)量靜、動(dòng)態(tài)接觸角、測(cè)量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動(dòng)注射系統(tǒng)、前進(jìn)后退角、滾動(dòng)滑落角等功能。

　　液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液／流／固－體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過程的測(cè)量和分析等。全自動(dòng)檢測(cè)整體解決方案，可搭配至流水線上使用，提高檢測(cè)效率。

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旋轉(zhuǎn)接觸角測(cè)量儀在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中的應(yīng)用